Lam Research Corp 価格

ラム・リサーチ・コーポレーションは、集積回路の製造に使用される半導体プロセス用装置の設計、製造、販売、リファービッシュ、およびサービスを行っています。同社は、タングステンのメタライゼーション用途向けにコンフォーマル膜を成膜するALTUSシステムを提供しています。銅ダマシン製造を可能にする銅インターコネクトのトランジション向け電気化学堆積製品としてSABREを提供しています。フィルム処理用の紫外線熱処理製品としてSOLAを提供しています。さらに、プラズマ強化CVD ALD製品としてVECTORを提供しています。加えて、高密度プラズマ化学気相成長（CVD）製品のSPEED gapfillも提供しています。また、誘電体膜ソリューション向けの単一ウェーハ原子層堆積製品としてStrikerも取り扱っています。 さらに、同社は誘電体エッチング用途向けのFlex、導体エッチング用途向けのKiyo、スルー・シリコン・ビア（TSV）エッチング用途向けのSyndion、金属エッチングプロセス向けのVersysメタル製品を提供しています。加えて、ダイの歩留まり向上のためのCoronusベベルクリーニング製品、さまざまなウェーハ洗浄用途に対応するDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズ製品、半導体ウェーハ製造における高精度のインライン質量計測用のMetryx質量メトロロジーシステムも提供しています。同社は、自社の製品とサービスを、米国、中国、欧州、日本、韓国、東南アジア、台湾、ならびに国際的に、半導体業界へ販売しています。ラム・リサーチ・コーポレーションは1980年に設立され、本社はカリフォルニア州フリーモントにあります。